Hardware-RAID-Arrays unter Linux kombinieren mehrere physikalische Laufwerke, um ein als Einheit partitionierbares Laufwerk zu erstellen. Die spezielle, auf ein Hardware-RAID-Array bezogene Datei befindet sich üblicherweise unter /dev/ataraid. Sie können Hardware-RAID-Arrays auf dieselbe Art wie gewöhnliche Festplatten per Backup sichern.
Physikalische Laufwerke, die Teil eines Hardware-RAID-Arrays sind, können neben anderen Laufwerken so aufgelistet sein, als ob sie eine beschädigte oder überhaupt keine Partitionstabelle haben würden. Solche Laufwerke per Backup zu sichern macht keinen Sinn, wie es auch nicht möglich ist, sie wiederherzustellen.